picarro宣布推出经我们完全优化的amc监控系统——picarro sam（取样sample、分析analyze和监测monitor）。该系统由picarro在业界领先的基于crds的传感器组成，该传感器已集成到最新的采样系统中。sam单元可提供高通量采样，而不会影响传感器的性能。
picarro amc monitoring system
新的picarro sam系统是从组件产品到系统解决方案的重大转变。一站式的设计、制造和测试系统的好处包括：
针对picarro硬件和软件设计且完全集成的系统——无集成兼容性问题
picarro sam系统进行过精心优化——系统性能符合picarro semi系统规格
新发明的、正在申请专利的气体输送歧管促成了sam的显着性能优势，使其在很短的时间内达到万亿分之几（ppt）的检测灵敏度，并能快速将sam系统恢复到基线灵敏度水平。这使得sam成为在线实时amc监视系统的理想选择。该系统带有易于使用的图形用户界面，可进行各种图表和趋势分析。
sam可以配置为从8个或16个端口采样，并且目前可用于检测氨、氟化氢和盐酸，这三个关键amc会影响半导体晶圆的产量。展望未来，我们将根据picarro的半导体产品路线图为其它气体提供sam系统。
sam系统路线图还将支持复杂的amc分析，以帮助客户更准确地快速识别amc事件的位置，从而允许采取更快的纠正措施，以提高与amc相关的晶圆产量。

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